中材高新于20世纪90年代初独创了以振动压力注浆成型为核心技术的精细石英陶瓷制造工艺,在此基础上,引入国际先进的注凝成型技术,开发了独特的石英陶瓷注凝成型工艺。是世界上唯一一家同时掌握石英陶瓷注浆成型技术和注凝成型技术的厂家,也是继法国、美国和日本公司之后、世界上第四家掌握多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚生产技术的企业。
注凝成型工艺具有生坯强度高和近净尺寸成型的特点,尤其适合薄壁、形状复杂的坩埚类产品的大规模自动化生产,可显著提高生产效率和成品率,降低生产成本。由于生坯强度高,因此比注浆成型工艺更容易制作大尺寸产品,在生产900型以上超大尺寸坩埚方面具有无可比拟的优势。
采用注凝成型技术生产的石英陶瓷坩埚结构均匀、表面质量好,其独特的气孔分布,可显著提高制品的热震稳定性,增强石英陶瓷坩埚在多晶硅铸锭生产过程中的抗炸裂能力,保证了它在使用过程中的可靠性。
性能指标
项 目 |
指标值 |
SiO2 % |
≥99.7 ≤1600 ≥1.78 ≤17 ≥50 ≥20 ~0.60~1.70 ≤0.9×10-6 ≤1 |
最高使用温度 ℃ |
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体积密度 g/cm3 |
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显气孔率 % |
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常温耐压强度 MPa |
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常温抗折强度 MPa |
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导热系数W/m﹒k(RT~1100℃) |
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热膨胀系数 ℃-1(RT~1000℃) |
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结晶度vol% |
产品规格:可以根据客户需求生产1100×1100×550mm以下各种规格的坩埚系列产品,其中包括220、440、585、720、900A、900B、900C以及1100A型等。
Item |
Properties |
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SiO2 % |
≥ |
99.7 |
Maximum service temperature ℃ |
≤ |
1600 |
volume density g/cm3 |
≥ |
1.78 |
apparent porosity % |
≤ |
17 |
compression strength MPa |
≥ |
50 |
breaking strength MPa |
≥ |
20 |
thermal conductivity W/m﹒k(RT~1100℃) |
~ |
0.60~1.70 |
Coefficient of expansion ℃-1(RT~1000℃) |
≤ |
0.9×10-6 |
Degree of crystallinity vol% |
≤ |
1 |
Spec: 220、440、585、720、900A、900B、900C, 1100A etc.