CVD(D)系列高真空低温气氛管式炉专门设计用于低温CVD、石墨烯工艺。如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,进口电阻丝加热,优质气炼石英管炉膛,气体采用质量流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构,有效的实现温度的控制。设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。
一、技术指标:
设备型号: CVD(D)-06/50/2
最高温度: 1050℃
工作温度: RT~1000℃
炉管实际尺寸:Φ60(外径)×1750mm (高纯气炼石英)
加热区长度: 300mm+200mm
炉膛材料: 氧化铝、高铝、硅酸铝纤维制品
控制温区个数: 2个,K分度热偶
控温精度: ±1℃,日本进口单回路智能40段程序仪表控制,PID参数自整定
加热元件: FEC陶瓷纤维加热器,进口瑞典Kanthal发热丝
备注:其他特殊工艺要求的订货时请说明。
具体价格根据工艺要求不同价格不同。
具体请联系:张经理,0551-65583095 65583720 13866734967
具体请登陆合肥日新高温技术有限公司企业门户网站:www.risine.com
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