无尘无菌室 无尘无菌室设计 无尘无菌室施工 厦门闽台盛
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详细信息 无尘无菌室 无尘无菌室设计 无尘无菌室施工 厦门闽台盛
无尘室根据洁净程度不同分很多等级
目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多 数字越小,洁净等级越高
1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗
100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗
注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。 无尘室等级,无尘室标准,无尘室标准定义 一、无尘室定义
将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及
粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo (BCR)。
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