GWL系列高温电炉、真空电炉在靶材烧结技术方面发挥了巨大作用,气氛可调,电炉压力能够调,电炉控温精度高档等等长处,国内有的公司选用高本钱的热等静压技术,该技术能够强化压制和烧结进程,降低烧结温度,避免晶粒增大,以取得极好的物理力学性能,但存在制品出产本钱较高、 出产周期长,且产品很简单开裂,密度低一级缺陷。
有的选用气氛烧结法,在烧结进程中经过对烧结气氛的控制来取得高密度的ITO靶材。气氛烧结法能大批量接连出产,本钱较热压法低,设备投入也少,但对ITO粉体要求较高,还要有适宜的气氛烧结技术。
因为需求较高气氛压力,在高温下具有一定的危险性,烧结本钱也较高。常压烧结是其时日本ITO靶材烧结的干流技术,也是国内目前所竭力的方向,一些公司正在进行这方面的实验,还没有公司投入实习出产。
整体来看,目前国内ITO靶材出产通常都选用热等静压或冷等静压+气氛烧结的方法 ,产品质量不高,未打破下游行业r FT—LCD的要求方针,产品只限于出产低端的 T N导电玻璃和有些STN产品。