由石英坩埚(或氧化铝坩埚)和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物,退火或扩散半导体晶片;也可用于烘烧或烧结陶瓷材料
炉膛尺寸:可定制
最高温度:1200度、1400度、1600度
工作温度:1100度、1300度、1600度
控温方式:智能化30段可编程自动控制
加热元件:含钼电阻丝
炉膛材料:氧化铝纤维
炉 壳:双层风冷结构
热 电 偶:K分度、S分度、B分度
升温速率:≤20度/分钟
恒温精度:±℃
最大真空度:根据客户要求
额定功率:根据客户要求